Kinerja Isolasi Alumina Keramik Dasar Untuk Peralatan Pengukuran Presisi Dan Inspeksi Industri

Kinerja Isolasi Basis Keramik Alumina untuk Peralatan Pengukuran Presisi dan Inspeksi Industri

Basis penyangga keramik alumina ini diproduksi menggunakan material Al₂O₃ dengan kemurnian tinggi 99,6%, dirancang khusus untuk peralatan semikonduktor, optik, dan pengukuran presisi. Menampilkan kerataan ultra-tinggi 0,01mm/m dan koefisien ekspansi termal 7,2×10⁻⁶/℃, produk mempertahankan stabilitas dimensi yang luar biasa dalam suhu ekstrem (-60℃~1500℃) dan lingkungan vakum (≤10⁻⁸Pa).

Bidang Aplikasi Inti

• Peralatan Semikonduktor: Tahap wafer litografi, basis ruang reaktor etsa

• Optik Presisi: Platform referensi interferometer laser, dudukan cermin teleskop luar angkasa

• Instrumen Analitik: Tahap sampel mikroskop elektron, penyangga sumber ion spektrometer massa

• Inspeksi Industri: Basis mesin CMM, meja putar pengukur kebulatan

• Energi Baru: Penyangga tumpukan sel bahan bakar, pembawa peralatan pelapisan fotovoltaik

Matriks Keunggulan Kinerja

Spesifikasi Teknis

Proses Manufaktur Presisi

1. Pemrosesan Bubuk: Bubuk kemurnian tinggi 0,1μm dengan granulasi semprot

2. Proses Pembentukan: Pengepresan isostatik (300MPa) dikombinasikan dengan pemesinan hijau CNC

3. Teknologi Sintering: Sintering gradien pada 1700℃ dalam atmosfer hidrogen

4. Pemesinan Presisi:

   • Penggilingan 5-sumbu (±0,002mm)

   • Pemolesan magnetoreologi (akurasi permukaan λ/20@632,8nm)

5. Pemrosesan Ruang Bersih: Perakitan selesai di ruang bersih Kelas 100

6. Inspeksi Penuh: Interferometer laser + inspeksi dimensi lengkap CMM

Panduan Instalasi

• Persyaratan Instalasi:
  ✓ Gunakan kunci torsi (nilai yang direkomendasikan 1,5±0,2N·m)
  ✓ Gunakan alat ruang bersih khusus
  ✓ Penyesuaian awal pencocokan termal yang direkomendasikan (gradien suhu <2℃/menit)

• Batasan Lingkungan:
  ✗ Hindari kontak dengan asam hidrofluorat
  ✗ Hindari guncangan termal >200℃/menit
  ✗ Tidak cocok untuk lingkungan pengoksidasi berkelanjutan >1600℃

Komitmen Layanan

• Dukungan Teknis: Analisis tegangan FEA gratis

• Respons Cepat: Layanan dipercepat 72 jam

• Manajemen Ketertelusuran: Catatan produksi lengkap 10 tahun

• Dukungan Sertifikasi: Dokumen sertifikasi SEMI/FDA/ISO disediakan

FAQ

T: Bagaimana cara memastikan pencocokan termal dengan komponen silikon karbida?
A: Desain transisi gradien CTE tersedia (dapat disesuaikan 7,2-4,5×10⁻⁶/℃)

T: Dimensi maksimum yang dapat diproses?
A: Batas teknis saat ini 500×500×100mm (membutuhkan perkakas khusus)

T: Apakah modifikasi konduktif didukung?
A: Versi antistatik yang dapat disesuaikan dengan resistansi permukaan 10⁴-10¹ºΩ

T: Bagaimana kebersihan tingkat wafer dijamin?
A: Sterilisasi akhir dengan VHP (hidrogen peroksida yang diuapkan)