Lengan Robotik Keramik Cetak 3D Menawarkan Presisi dan Ketahanan yang Tak Tertandingi untuk Industri

Lengan robot keramik alumina cetak 3D adalah solusi otomatisasi berkinerja tinggi yang dirancang khusus untukmanufaktur semikonduktor, penanganan wafer, dan produksi otomatis. MemanfaatkanTeknologi pencetakan 3D DLP/SLA, itu diproduksi sebagai satu komponen terintegrasi dari99,9% keramik alumina dengan kemurnian tinggi (al₂o₃). Dengan sifat luar biasa termasukKekerasan ultra-tinggi, resistansi termal, resistansi korosi, dan koefisien ekspansi termal yang rendah, sangat ideal untuklingkungan vakum, kondisi kimia yang keras, dan proses suhu tinggi, memastikankebersihan dan stabilitas tinggidalam aplikasi penanganan wafer.

Aplikasi utama

✅Penanganan wafer semikonduktor: Vakum mencekam, memposisikan dan transferWafer 12 inci
✅Peralatan etsa & deposisi: Plasma tahan untuk proses PVD/CVD
✅Operasi suhu tinggi: Operasi berkelanjutan di300 ° C+
✅Jalur Produksi Otomatis: Kompatibel dengan perkakas end-of-arm (EOAT) untuk meningkatkan produktivitas

Keuntungan kompetitif

Spesifikasi teknis

• Kemurnian material: ≥99,9% al₂o₃

• Teknologi Pencetakan: DLP Photopolymerization (± 20μm presisi)

• Kapasitas muatan: 5kg (standar)/10kg (tugas berat)

• Pengulangan:± 0,01mm Accuracy Positioning

• Kisaran suhu: -50 ° C hingga 300 ° C

• Kekasaran permukaan: Ra≤0.1μm (dapat dipoles hingga 0,05μm)

• Kompatibilitas Vakum: Saluran udara terintegrasi (filtrasi 0,5μm)

Proses pembuatan

1. Pemodelan 3D: CAD Design + Wafer Handling Path Simulation

2. Persiapan bubur: Campuran resin nano-alumina + photopolymer (konten solid 55-58%)

3. Pencetakan DLP: Curing lapisan demi lapis (ketebalan 20μm)

4. Sintering suhu tinggi: Densifikasi 1650 ° C (117-122% kompensasi penyusutan)

5. Pemesinan presisi: Pemangkasan laser + penggilingan CNC (± keyabahan 0,02mm)

6. Kontrol kualitas: Inspeksi X-Ray + Pengujian Kebocoran

Instruksi Pengoperasian

⚠Catatan penting:

• Autoclave Sterilize (121 ° C) sebelum penggunaan pertama kali

• Hindari paparan asam hidrofluorat (HF)

• Inspeksi Bersama Bulananuntuk integritas keausan dan vakum

• Gunakan efek akhir keramikuntuk mencegah kerusakan wafer